Pirmą kartą apie silicio nitrido sintezę 1857 m. pranešė Henri Edouard Saint{1}}Claire Deville ir Friedrich Wöhler. Jų sintezės metu silicio turintis tiglis buvo dedamas į tiglį, pripildytą anglies, ir kaitinamas, kad sumažintų deguonies prasiskverbimą. Jie pranešė apie produktą, kurį pavadino silicio nitridu, bet negalėjo nustatyti jo cheminės sudėties.
1879 m. Paulas Schutzenbergeris gaminį paruošė aukštakrosnėje kaitindamas silicį, sumaišytą su pamušalo medžiaga (pasta, kurią galima naudoti kaip tiglio pamušalą, pagamintą sumaišant anglį, anglies briketą arba koksą su moliu) ir pranešė apie tai kaip junginį, kurio sudėtis yra Si3N4. 1910 m. Ludwigas Weissas ir Theodoras Engelhardtas paruošė Si3N4, kaitindami elementinį silicį gryname azote. 1925 m. Friederichas ir Sittigas susintetino silicio nitridą, kaitindami silicio dioksidą ir anglį azoto atmosferoje iki 1250-1300 laipsnių, naudojant terminį anglies redukciją.