Silicio metalo miltelių gamyba yra gana paprasta. Jūs tiesiog įdedate tam tikrą kiekį stambaus silicio miltelių į inertinių dujų plazmos lanką ir pakaitinkite iki aukštos temperatūros, todėl silicio milteliai virsta silicio garais. Tada šie garai atšaldomi ir paverčiami nano lygio silicio metalo milteliais.
Cheminio nusodinimo iš garų metodas: Kai vandenilio yra daug ir naudojama šiluma arba šviesa, silanas suskaidomas į silicį ir vandenilį. Jis greitai virsta dujomis, iš kurių gaunami nanosilicio milteliai.
Rutulinio šlifavimo būdas: Didesnės silicio medžiagos sumalamos į nano dydžio miltelius mašina, naudojant trintį ir susidūrimus tarp dalelių. Silicio metalo milteliuose, pagamintuose šlifuojant rutuliniu būdu, yra daug priemaišų, dalelių dydžio pasiskirstymas negali būti gerai kontroliuojamas, o tolesnis apdorojimas yra gana sudėtingas.